振镜同轴光路系统

振镜同轴光路系统使用说明书

1．产品描述

扫描振镜聚焦系统集成同轴摄像功能，专为满足有高精度定位要求的振镜扫描加工系统设计，CCD观测的图像与激光光束焦点完全同轴，与F-theta镜头及照明光源配套可实现“所见即所得”的机器视觉定位激光加工。

同轴摄像系统 CCD Adapter of Galvo Scanning System

同轴摄像系统专为满足有高精度定位要求的振镜扫描加工而设计，CCD观测的图像与激光光束焦点完全同轴，于F-theta镜头及照明光源配套可实现“所见即所得”的激光加工。校正后的激光加工绝对位置精度可达到0.02mm以上。与软件配合使用可以几乎完全克服振镜温漂带来的加工位置误差。 产品特点:

1、可与常用的各种品牌扫描振镜直接配套。
2、单色光照明设计提高CCD观测清晰度。

2．使用说明

振镜系统的硬件安装

1) 将振镜过渡板与振镜头同心轴安装连接
2) 再将分光合束系统与振镜过渡板安装连接
3) 将连接好的振镜与分光合束系统连接至激光设备器
4) 最后将安装好后的振镜头接口与Fθ透镜同心轴连接，由下而上旋入安装，Fθ透镜与专用照明光源连接，至下而上旋入安装后用螺钉固定，形成整个的振镜光路系统安装。

调试光路的方法

找激光焦点位置

1) 激光光束通过合束镜后，经过X、Y振镜头反射到Fθ透镜后形成聚焦光斑，当聚焦光斑能量最强时为激光焦点，当聚焦光斑不再焦点时Z轴上下运动调试后找到激光焦点。（见下图）

激光焦点

调节CCD成像清晰度

2) 确定激光焦点之后，通过摄像镜调节键来调节成像清晰度。（见图）

摄像镜调节前画面聚焦模糊

止动螺钉

调节螺钉

确保此调节螺钉背后的止动螺钉处在松弛状态，使用2.5内六角扳手对调节螺钉轻微旋转，同时注意观察成像的清晰度，当达到最佳清晰度时停止调节。

摄像镜调节后成像清晰

确定激光焦点是否在软件界面的十字中心

3) 通过摄像镜与相机接口处的顶丝来调节激光光斑在成像系统中的位置，当激光光斑在成像系统中的十字中心时，通过顶丝固定相机接口处，防止激光光斑偏离十字中心点。（见图）

激光光斑偏离十字中心点

调节螺钉

调节螺钉时，使用1.5内六角扳手对准4枚螺钉孔，将4枚螺钉处于松动的状态，手动推动和旋转ccd接口圈，将它调整至十字中心点的位置，如成像和被成像面相反可通过旋转相机角度使两者相同。

确定激光光斑正中心点

4) 通过打标软件打一个最大正方形幅面。
5) 使用打标软件来校正正方形幅面的大小，保存正确的参数，光路调试完毕。

4. 安装尺寸示意图

系统对外接口板

分光折返主体

系统对外接口板